產品導航Product
- 技術規格
- 品牌介紹
儀器參數：
一、粗糙度測量
X 軸 (驅動部)
1.測量范圍: 100mm
2.分辨率: 0.5μm
3.長度基準: 高精度位移傳感器
4.驅動速度: 0 – 10mm/s
5.測量速度: 0.5 - 2mm/s
Z 軸 (立柱)
1.類型: 電動操作
2.垂直移動: 350mm
檢測器
1.范圍／分辨率: 1000μm / 0.01μm
2.測針針尖: 2um
3.示值誤差: ±5%-—±7%
4.測量重復性: ± 3% -—-±5%
5.類型: 差動電感式
6.驅動裝置的控制:手動或 PC 操作
評價參數
1.Ra, Rq, Rz, Ry, Rz(JIS), Ry(DIN), Rc, Rp, Rpmax, Rpi, Rv, Rvmax, Rvi,
Rt, Rti, R3z, R3zi, R3y, S, Pc (Ppi), Sm, HSC, mr, dc, plateau ratio,
mrd, Rk, Rpk, Rvk, Mr1, Mr2, Da, Dq, la, lq, Sk, Ku, Lo, Lr, A1, A2
取樣長度
1.0.08mm, 0.25mm, 0.8mm, 2.5mm, 8mm
數據補償功能
傾斜補償，R 平面(曲面) 補償，橢圓補償，拋物線補償，
雙曲線補償，二次曲線自動補償，多項式補償，多項
式自動補償
二、輪廓測量
1.測量范圍:≤100mm
2.分辨率: 0.1μm
3.測量速度: 0.2, 0.5、1mm/s
4.測量方向: 向后
5.指示精度: ±(3.5+2L/100)μm
* L = 測量長度 (mm)
6.測針上／下運作: 弧形運動
7.測針方向: 向下
8.測力: 10 - 30mN
9.測針針尖半徑: 25μm, 硬質合金針尖
